公共实验室的场发射电子探针显微分析仪岛津EPMA-8050G已安装调试完毕，即日起对所内外用户正式运行。

一． 设备信息

设备名称：场发射电子探针显微分析仪EPMA

仪器型号：岛津EPMA-8050G

二．主要功能

场发射电子探针显微分析仪EPMA 是利用电子束作用于试样微区上而产生的二次电子、背散射电子及X射线等信号，进行微区显微结构分析（二次电子和背散射电子）和成分分析（X射线）。是一种在材料表面对微米级体积进行元素分析的定性和定量方法，兼具可快速获得全谱的能谱仪EDS和高精度的波谱仪WDS。在痕量元素、轻元素、重叠峰等情形下远优于常规的SEM-EDS分析系统。可进行元素成分分析（⁴Be～⁹²U）、定量分析、线分析和面分析。

三．主要配置

肖特基场发射电子枪、全聚焦型晶体、5道波谱仪WDS（RAP/LSA200、LSA50/LSA70、PET/LiF、LiF/ADP、LSA80/LSA120）、能谱仪EDS

四．性能指标

1. 二次电子像分辨率：≤ 3 nm(加速电压30 kV)；背散射电子像分辨率：≤ 20 nm（拓扑像、成分像）；

2. 加速电压：0.5～30 kV；

3. 最大束流： 3μA；束流稳定度：0.3%/h (50 nA@10 kV)；

4. 图像放大倍数：40倍～400,000倍；电子像的畸变：＜3% (＞400倍放大率)；＜5% (＜400倍放大率)；

五．样品要求

1. 基本要求

Ÿ 没有磁性

Ÿ 观察、分析面新鲜，有代表性---样品采集法、固定法、保存法

Ÿ 可承受真空中的观察、分析---干燥法、冷冻法、去除挥发成分

Ÿ 具有导电性---喷镀法

Ÿ 具有热传导性或耐热性---安装样品法、粘合法、喷镀法

Ÿ 尽可能平滑水平（特别是进行定量分析的时候）----研磨抛光法、安装样品

Ÿ 信号产生率、收集率（检测效率）好---喷镀法、样品安装

2. 定性分析：符合基本要求。

3. 定量分析：块装样品或者薄膜样品需有一面平整（薄膜厚度至少5um以上），越平整测试效果越好。粉末样品保证颗粒尺寸大于电子束尺寸（5um），否则很难保证电子束能准确打到样品上。或者需压制成片状，厚度达到纸张厚度即可，面积达到米粒大小即可（建议直径大小5-10mm）。

4. 面分布（mapping）：颗粒、块装样品或者薄膜样品需有一面平整，粉末样品面扫测试建议大家将样品分散后滴在硅片测试（硅片建议大小5-8mm）。

5. 注意事项：

Ÿ 一般来说，元素含量在0.05%以上即可测准（具体视样品及元素情况而定）。定性分析、态分析检出限更低，能检测出100ppm甚至更低含量的元素是否存在。

Ÿ 定量分析是全元素定量分析，不能仅仅测试其中一两个元素。定量分析所测元素需要有对应的标样时才能测试。具体标样情况，请咨询测试老师。

Ÿ 定量分析要求样品表面光滑平整致密，电子束范围（最大50um）内无析出物，无空洞，不含H、He、Li (WDS无法检出这三种元素，如果样品中这三种元素含量之和超过0.01%，会影响定量测试结果的可信度。

Ÿ 定量分析时，由于标样及ZAF修正时假定样品时致密紧实并且表面平整的。如果样品不平整，会导致加和值较低；如果表面不平整，会导致特征X射线被遮挡使得结果不准确。

六、存放地点：王哥庄园区L1号楼102

七、联系方式：杨微微 80662632