1

XPS光电子能谱仪

AXIS SUPRA+

（1）单色化X射线源：水冷大束斑Al靶射线源；Al Kα单色化X射线源；包括12个Al靶点和4个Ag靶点
（2）能量分辨和灵敏度：Al Kα单色化X射线源的大束斑对干净的纯Ag样品，Ag 3d5/2峰的半高全宽和计数率0.56eV@2.39Mcps ；
（3）半球型电子能量分析器：双层能量分析器的内层，180°半球扇形分析器；在FAT模式下的通过能1～400eV可调；
（4）荷电中和器：与静电传输透镜同轴的超低能单电子源组合磁透镜，能够确保中和电子向样品荷电表面的均匀注入。中和电子能量为3.6eV；不使用离子源，可最大限度避免使用高能量的电子或离子参与荷电中和以避免可能导致样品表面元素化学状态改变、价带谱形变等风险；
（5）多模式氩离子/团簇离子刻蚀枪：聚焦可扫描离子源，包含单个Ar离子刻蚀和Ar团簇离子刻蚀两种模式；单Ar离子刻蚀模式：单个Ar离子能量0.5～5keV；最小束斑约400μm@5keV；Ar团簇离子刻蚀模式：团簇离子能量2～20keV；团簇离子大小约500～3,000Ar

岛津

生物楼G16

李素英

58261073