1. 发射源:钨灯丝(预对中灯丝) 2. 加速电压:300 V-30KV 3. 分辨率:(1)高真空模式:30 kV下2.916 nm (二次电子);30 kV下3.833 nm (背散射电子);3 kV下7.564 nm (二次电子); (2)低真空模式:30 kV下2.849 nm (二次电子);30 kV下3.989nm (背散射电子); 3 kV下8.329 nm (二次电子);具备独立的低真空模式二次电子探头; (3)环境真空模式:30 kV下2.763 nm (二次电子); 具备独立的环境真空/超低真空模式二次电子探头;可通入少量的CO2气体在CO2气氛下观察样品的形貌变化 4. 能谱仪:元素分析范围: Be ~Am, SDD电制冷高效高分辨能谱仪探测器,无需液氮冷却 5. 高温样品台:1000 oC |